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真空阀门也可以分为手动真空阀,气动真空阀,电动真空阀,而真空阀和普通压力阀门的却别在于,真空阀是用于隔离(切断)气流、调节气流和分配气流。各种真空装置(又称真空工程设备)都离不开真空系统。真空阀在简单或复杂的真空系统中起着重要的作用。
一般来说,在设计真空系统时,应根据真空装置的要求和真空系统的特点选择不同类型的真空阀。例如,真空净化阀用于将大气置于真空系统中。真空装置完成真空工作后,要更换工件或取出样品,必须在真空室中放置大气,使真空室门两侧没有压差,这样才能打开门更换工件。针阀充入真空系统,可以调节空气流量。
真空阀通常用于真空泵废物测量、真空镀膜、离子束刻蚀、可控热核反应热反应装置等。为真空度稳定的工艺要求提供精确调节的气流;高真空挡板阀或真空电磁阀通常用于主泵的进气口,将真空泵与大气隔离。高真空蝶阀可以安装在真空链之间,真空管和真空泵之间,用于开关。真空阀门的设计应当无泄漏、机械和电气故障等等。
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